掃描電鏡的成像其實是利用細(xì)聚焦高能電子束在樣件表面激發(fā)各種物理信號，如二次電子、背散射電子等，通過相應(yīng)的檢測器來檢測這些信號，信號的強(qiáng)度與樣品表面形貌有一定的對應(yīng)關(guān)系，因此，可將其轉(zhuǎn)換為視頻信號來調(diào)制顯像管的亮度得到樣品表面形貌的圖像。下面我們來介紹下掃描電鏡日常維護(hù)的10個要點。

    掃描電鏡的日常維護(hù)

    1、保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機(jī)等裝置不可放置重物；

    2、開機(jī)時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水；

    3、進(jìn)樣品時,檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉門徹底關(guān)閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣；

    4、移動樣品，通過配合移動StageDriver將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于最大允許值；

    5、傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的最大安全角度必須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴；

    6、用BSE探頭時不可傾斜樣品臺；

    7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關(guān)閉高壓；

    8、放氣時HT必須處于關(guān)閉狀態(tài)，必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門；

    9、更換鎢燈絲時，等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷；

    10、掃描電鏡需要手動調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整；

    11、每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。

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